掺杂混合气
名称/化学式 掺杂混合气
包装规格 2L、4L、8L、40L
纯度(%)及杂质(ppm)
气体安全技术使用说明:
基本信息

类型
Category
组分气
Component
稀释气
Dilute Gas
备注
Note
硼化合物
磷化合物
砷化合物
乙硼烷(B2H6)、三氯化硼(BCl3)、溴化硼(BBr3)
磷烷(PH3)、氯化磷(PCl3)、溴化磷(PBr3)
砷烷(AsH3)、三氯化砷(AsCl3))
 
氦、氩、氢
氦、氩、氢
氦、氩、氢
具有P形性质
具有N形性质