大连安瑞森特种气体化学品有限公司

蚀刻电子气

名称/化学式

蚀刻混合气

包装规格

2L、4L、8L、40L

纯度(%)及杂质(ppm)

气体安全技术使用说明：

基本信息

材质 Material	蚀刻气体 Etching Gas
铝（Al)	氯硅烷（SiCl4)+四氯化碳（CCl4)+（氩、氮）
铬（Cr)	四氯化碳（CCl4)+氧、四氯化碳（CCl4)+空气
钼（Mo)	二氟二氯化碳（CCl2F2)+氧、四氟化碳(CF4）+氧
铂（Pr)	三氟三氯乙烷(C2Cl3F3)+氧、四氟化碳（CF4）+氧
聚硅	四氟化碳（CF4）+氧、乙烷(C2H6)+氯
硅（Si)	四氟化碳（CF4）+氧