大连安瑞森特种气体化学品有限公司

外延（生长）混合气

名称/化学式

外延（生长）混合气

包装规格

2L、4L、8L、40L

纯度(%)及杂质(ppm)

气体安全技术使用说明：

基本信息

序号 No.	组分气体 Component		稀释气体 Dilute Gas
1 2 3 4	硅烷（SiH4) 氯硅烷(SiCl4) 二氯二氢硅(SiH2Cl2）乙硅烷（Si2H6)		氦、氩、氢、氮氦、氩、氢、氮氦、氩、氢、氮氦、氩、氢、氮